存放地

榆林创新院D107

仪器负责人

梁嘉乐

联系电话

18165127633

性能指标

布鲁克ContourX-200

1. 三种工作模式：垂直扫描干涉测量模式VSI；相依干涉测量模式PSI；智能自适应用用测量模式USI

2. 垂直方向量程 单次非拼接的扫描范围≥10mm；垂直分辨率 ≤0.01；台阶高度误差 ≤0.75%

基恩士VR6000

高度测量显示分辨率0.1 μm；高度测量重复精度0.4 μm；宽度测量显示分辨率0.1 μm；宽度测量重复精度可实现0.5 μm

功能及应用

对纳米材料、金属、聚合物和半导体等材料进行精确的2D形貌、3D形貌测量，实现线粗糙度、表面粗糙度、台阶高度、长度、体积等分析。

样品要求

1. 常规固态（块状/薄膜）样品，布鲁克ContourX-200不做两种物质的样品（如玻璃上长金属薄膜）

2. 布鲁克ContourX-200：样品长：小于250mm；宽：小于250mm；高：小于10mm

3. 基恩士VR6000：样品长：小于250mm；宽：小于250mm；高：小于50mm

收费标准

实验项目

院内

院外

备注

表面、粗糙度、台阶高度分析

110元/样

150元/样

无