存放地

榆林创新院D105

仪器负责人

梁嘉乐

联系电话

18165127633

性能指标

1、X射线源：Al/Ag双阳极；

2、最佳电子能谱能量分辨（Ag 3d5/2）：优于0.48eV；

3、最佳化学状态成像空间分辨：优于1μm；

4、常规XPS分析（Ag 3d5/2）：0.6eV@2.5Mcps；

5.、深度剖析离子源：多模式Ar/Ar团簇，最高加速电压20kV，最大团簇3000Ar。

功能及应用

1、可对有机高分子材料、金属材料、无机化合物和复合材料以及其他固体材料的表面10nm深度范围内进行元素及其化学状态、价带电子态分析；

2、结合离子刻蚀技术可实现表面元素及其化学状态的纵深方向分布分析；

3、具备光电子平行成像功能，可实现表面元素及其化学状态的二维分布分析。

样品要求

1、样品高度小于5 mm，大小5*5 mm，表面平整、干净；

2、样品要求真空干燥，不能具有腐蚀性、挥发性、磁性、放射性、化学毒性或生物毒性（不带磁性的磁性材料可以测试，或去磁后的磁性样品可以测试，但必须提前告知），样品在真空中释放的气体不能具有腐蚀性；

3、样品是否导电需提前告知；

4、样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统。

收费标准

实验项目

院内

院外

备注

常规测试

100元/样

150元/样

包括全谱和5个元素的窄扫，每增加一种元素加收50元；

表面清洁加收100元

深度剖析
（Ar离子刻蚀）

150元/样；
每一层加50元

200元/样；
每一层加100元

XPS成像
（成像扫描）

300元/样

400元/样